编者按：2025年湖南省（国际）创新创业大赛正在如火如荼地进行。我们关注创新的“从0到1”，更关注价值的“从1到N”。红网推出“创在湖南”专题报道，深入实验室，探寻新技术背后的灵感火花与攻坚历程；走进生产线，记录创新成果跨越道道鸿沟，转化为现实生产力的蝶变之旅；对话创业者，解码这条从创意到市场的全链路价值图谱，看“创业种子”如何在这片沃土上生根、发芽、成长，感受三湘大地创新的磅礴脉动。

首台套国产高性能VCSEL立式湿氧炉。

红网时刻新闻记者 卢欣 长沙报道

VCSEL芯片是车载激光雷达、光通信领域的“核心心脏”，而其制造关键环节“侧氧工艺”，长期被国外高端装备垄断。进口设备不仅采购成本高、交付周期长，售后响应滞后更可能拖累整条生产线。

如今，湖南艾科威半导体装备有限公司打破这一困局，自主研发的首台国产高性能VCSEL立式湿氧炉，以国际一流的温控表现与运行稳定性，填补国内该领域装备空白，让国产VCSEL芯片制造终于有了“中国装备”的坚实支撑。

破局：十余年深耕，从“跟跑”到“领跑”

这份突破并非偶然，而是艾科威十余载技术沉淀的结果。早在2007年，其核心研发团队便开启半导体装备攻关之路，历经八年行业深耕与技术打磨，2015年正式注册成立湖南公司，如今已成长为国家级高新技术企业。

团队由资深专家领衔，汇聚国内顶尖科研机构力量，不仅构建起覆盖集成电路、5G通信、光电器件、传感器等全领域的研发生产能力，更建成1500平方米万级净化车间与1000平方米千级净化实验室，形成从器件研发到批量生产的全流程解决方案。

“以前国内企业用进口设备，连调整工艺参数都要等国外工程师，我们就是要做‘能落地、好操作、成本优’的国产装备。”项目负责人田杰成的话，道出了团队从“受制于人”到“自主可控”的初心。

技术：硬核创新+严苛认证，跻身国际一流

要突破国外技术壁垒，靠的是实打实的底层创新与严苛打磨。艾科威VCSEL立式湿氧炉以多物理场耦合仿真技术驱动设计，采用高纯度石英与碳化硅复合材料打造反应腔室，既解决了传统腔体耐高温性不足的问题，又避免杂质污染芯片；搭配多区域独立加热模块与“内外双热电偶”实时监测，让温控精度与腔内温度均匀性达到行业顶尖水平，核心性能可与国际头部品牌比肩。

截至2025年，团队累计拿下60+项专利及软著（含10项授权发明专利），多项技术突破国外封锁；更通过ISO9001质量管理体系与SEMIS2安全认证，确保设备在稳定性、安全性上完全匹配量产需求。

“上百次腔体结构优化、上千次温控调试，才换来了高水准的工艺合格率。”田杰成介绍，目前设备已在国内企业完成验证，单批次处理效率比进口设备更高，综合使用成本也大幅降低。

领航：从“单点突破”到“全链赋能”，绘就国产半导体新图景

如今，这台“湖南智造”已深度融入国产半导体产业链：不仅服务华为、中车、中电科等300+行业龙头企业，科研客户更覆盖90%以上半导体领域“双一流”高校，从量产生产线到科研实验室，全方位为国产半导体发展提供装备支撑。

谈及未来，艾科威的蓝图远不止于VCSEL领域。田杰成表示，将以VCSEL立式湿氧炉的技术突破为“基座”，进一步把核心能力延伸至更广阔的半导体装备赛道——聚焦更多细分领域的“装备卡脖子”难题，用自主创新破解产业链关键环节的装备依赖；同时持续深化“设备+工艺”一体化服务，巩固并拓展全流程解决方案的价值，让装备与工艺协同发力，更好适配产业升级需求。更长远来看，团队还计划推动成熟技术向海外市场输出，让“湖南智造”的半导体装备走向全球，助力中国半导体装备在全球产业链中占据更重要的位置，为中国“芯”的安全发展筑牢根基。

“我们想做的不只是‘造出一台好设备’，而是用‘湖南智造’的力量，为国产半导体搭建更稳固的装备底座，让中国‘芯’的每一步成长，都有自主装备的底气。”田杰成的话语里，蕴含着艾科威对国产半导体产业的长远担当。