50纳米氧化铈粉末及抛光液照片

团队负责人—郑珊珊

项目简介

微纳米球形氧化铈的国产化及应用

睿土科技团队是在湖南大学物电学院韦家谋老师指导下的一支着力于微纳米氧化铈研究与开发的的团队，目前制备出的10-3000nm粒径可控的球形二氧化铈粉末，可以应用于单晶硅片的研磨、抛光，芯片制程过程抛光，第三代半导体核心材料蓝宝石衬底、碳化硅衬底抛光，激光玻璃、光学元件和光学晶体的抛光等高精密研磨抛光领域。该系列抛光液将有利于打破高端抛光液长期依赖进口的现状（高端纳米氧化铈抛光液长期垄断于美国、日本、法国的企业），让更多的军工企业、科研院所以及国内抛光企业能用上价格实惠、产品质量稳定的国产高端抛光液。其中：

●30纳米以下球形氧化铈抛光液应用于：半导体芯片制程中的氧化硅绝缘层、集成电路STI（浅沟隔离），嵌入金属布线的抛光；

●50-100纳米球形氧化铈抛光液应用于：单晶硅片的精密抛光；

●100-300纳米氧化铈应用于激光玻璃、光学元件和光学晶体的精密抛光；

●微米级的类球形氧化铈主要应用于电视、手机显示器面板抛光以及玻璃手机后盖的抛光。

负责人介绍

郑珊珊，1994年，中共党员，目前为中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室在读博士生。2016年毕业于湖南大学，专业为应用物理学，就读期间曾获国家奖学金，三好学生，一等奖学金，校物理竞赛一等奖，省物理竞赛三等奖，优秀新生班导等奖项，并以专业第二的成绩保研直博。2019年4月，赴日本横滨参加OPIC国际会议并作口头报告。截止目前，已有SCI论文3篇(二作)，EI论文1篇(一作)，发明专利1项(已授权)。在该项目中主要负责纳米球形氧化铈生产工艺参数的确定，以及其他纳米氧化物相关新产品的研究与开发。